一種反射板組、燈組模塊、襯底處理設備及反射板組的調節(jié)方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111546164.0 申請日 -
公開（公告）號 CN114420585A 公開（公告）日 2022-04-29
申請公布號 CN114420585A 申請公布日 2022-04-29
分類號 H01L21/67（2006.01）I;H05B3/00（2006.01）I;G02B7/182（2021.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 秦志堅;燕春;楊進 申請（專利權）人 江蘇天芯微半導體設備有限公司
代理機構 上海元好知識產權代理有限公司 代理人 張雙紅;張靜潔
地址 214028江蘇省無錫市新吳區(qū)行創(chuàng)四路7號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種反射板組、燈組模塊、襯底處理設備及反射板組的調節(jié)方法，反射板組包括內圈反射板組、外圈反射板組及設置于內圈反射板和外圈反射板之間的分隔板，所述分隔板用于將內圈燈組和外圈燈組發(fā)射的熱輻射隔開，所述分隔板的沿長度方向延伸的厚度的中間線相對于豎直方向具有傾斜角度，所述傾斜角度大于零度，所述傾斜角度用于確保所述襯底上的溫度分布的均勻性。本發(fā)明通過調節(jié)傾斜角度可以實現內外區(qū)的獨立控溫。