一種反射板組、燈組模塊、襯底處理設(shè)備及反射板組的調(diào)節(jié)方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111546164.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN114420585A 公開(kāi)（公告）日 2022-04-29
申請(qǐng)公布號(hào) CN114420585A 申請(qǐng)公布日 2022-04-29
分類(lèi)號(hào) H01L21/67（2006.01）I;H05B3/00（2006.01）I;G02B7/182（2021.01）I 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 秦志堅(jiān);燕春;楊進(jìn) 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 江蘇天芯微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海元好知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 張雙紅;張靜潔
地址 214028江蘇省無(wú)錫市新吳區(qū)行創(chuàng)四路7號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種反射板組、燈組模塊、襯底處理設(shè)備及反射板組的調(diào)節(jié)方法，反射板組包括內(nèi)圈反射板組、外圈反射板組及設(shè)置于內(nèi)圈反射板和外圈反射板之間的分隔板，所述分隔板用于將內(nèi)圈燈組和外圈燈組發(fā)射的熱輻射隔開(kāi)，所述分隔板的沿長(zhǎng)度方向延伸的厚度的中間線相對(duì)于豎直方向具有傾斜角度，所述傾斜角度大于零度，所述傾斜角度用于確保所述襯底上的溫度分布的均勻性。本發(fā)明通過(guò)調(diào)節(jié)傾斜角度可以實(shí)現(xiàn)內(nèi)外區(qū)的獨(dú)立控溫。