一種燈模組及襯底處理設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202123078550.X 申請日 -
公開（公告）號 CN216972740U 公開（公告）日 2022-07-15
申請公布號 CN216972740U 申請公布日 2022-07-15
分類號 C30B25/10（2006.01）I;C30B23/06（2006.01）I;H01L21/02（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 秦志堅(jiān);燕春;楊進(jìn) 申請（專利權(quán)）人 江蘇天芯微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海元好知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 214028江蘇省無錫市新吳區(qū)行創(chuàng)四路7號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種燈模組及襯底處理設(shè)備，所述燈模組用于給工藝腔室內(nèi)的襯底加熱，包括：上燈模組和下燈模組；其中，所述上燈模組和/或所述下燈模組包括：若干個(gè)內(nèi)燈電線和/或若干個(gè)外燈電線，所述內(nèi)燈電線將所述內(nèi)燈組中若干個(gè)不相鄰的所述內(nèi)燈電連接形成一受控區(qū)，不同受控區(qū)的所述內(nèi)燈電線用于對所述內(nèi)燈組進(jìn)行分區(qū)供電；所述外燈電線將所述外燈組中若干個(gè)不相鄰的所述外燈電連接形成一受控區(qū)，不同受控區(qū)的所述外燈電線用于對所述外燈組進(jìn)行分區(qū)供電。本實(shí)用新型可以對襯底表面溫度進(jìn)行分區(qū)控制，從而保證襯底表面溫度的均勻性，降低開腔頻率以及降低局部供電狀態(tài)變化對襯底表面局部溫場造成的影響。