一種振鏡重復(fù)定位精度檢測裝置和方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110867454.9 申請日 -
公開（公告）號 CN113310672B 公開（公告）日 2021-10-12
申請公布號 CN113310672B 申請公布日 2021-10-12
分類號 G01M11/02（2006.01）I;G01B11/00（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 王雪輝;戚云飛;許維;雷桂明 申請（專利權(quán)）人 武漢華工激光工程有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集智東方知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 吳倩;龔建蓉
地址 430223湖北省武漢市東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)未來二路66號（自貿(mào)區(qū)武漢片區(qū)）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種振鏡重復(fù)定位精度檢測裝置及方法，其包括：激光器組件、準(zhǔn)直擴(kuò)束鏡、分光鏡、振鏡、第一聚焦鏡頭、第一圖像傳感器、第二聚焦鏡頭、第二圖像傳感器、振鏡控制組件、控制單元以及計(jì)算單元；所述第一傳感器用于獲取所述參考光束的光斑圖像；所述第二圖像傳感器用于獲取所述測試光束的光斑圖像；所述控制單元用于通過振鏡控制組件控制所述振鏡進(jìn)行若干次掃描；所述計(jì)算單元用于獲取振鏡完成若干次掃描后的真實(shí)角度誤差。其通過將激光光束分為參考光束和測試光束，并獲取兩路光束的光斑圖像抵消掉誤差，從而使振鏡的位置檢測結(jié)果更為精確，且可以大幅提高檢測效率。