一種高純六氯乙硅烷用生產(chǎn)設(shè)備及其耐蝕純凈處理方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111310192.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113862744A 公開（公告）日 2021-12-31
申請(qǐng)公布號(hào) CN113862744A 申請(qǐng)公布日 2021-12-31
分類號(hào) C25D7/04（2006.01）I;C25D5/36（2006.01）I;C25D5/48（2006.01）I;C25D5/52（2006.01）I;C25D21/12（2006.01）I 分類 電解或電泳工藝；其所用設(shè)備〔4〕;
發(fā)明人 郭之軍;蔣飚;李能武;祝飄;趙和英;彭小敏;張光祥;陳松華 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 貴州威頓晶磷電子材料股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 貴陽春秋知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 李萬強(qiáng)
地址 550000貴州省貴陽市白云區(qū)新材料產(chǎn)業(yè)園區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種高純六氯乙硅烷用生產(chǎn)設(shè)備及其耐蝕純凈處理方法，該高純六氯乙硅烷用生產(chǎn)設(shè)備所有管道均采用奧氏體不銹鋼材料制造、設(shè)置有抽真空的裝置和充入保護(hù)氣體的裝置、為兩級(jí)蒸餾冷凝結(jié)構(gòu)；其中不銹鋼管道內(nèi)表面固定有防護(hù)層，該防護(hù)層由外及里分布有厚度75μm?80μm的復(fù)合層、5μm?8μm的鋅鎳混合層、12μm?20μm的鋁鍍層和不銹鋼基體層；其中復(fù)合層由氧化鋁、氧化鉛、碳化鎢、氧化鈰密排混合而成。該高純六氯乙硅烷用生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)表面防護(hù)性好、表面完整性高、呈較高程度惰性、結(jié)合力強(qiáng)、使用壽命長(zhǎng)、致密度好。