一種高純六氯乙硅烷用生產設備及其耐蝕純凈處理方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111310192.2 申請日 -
公開（公告）號 CN113862744A 公開（公告）日 2021-12-31
申請公布號 CN113862744A 申請公布日 2021-12-31
分類號 C25D7/04（2006.01）I;C25D5/36（2006.01）I;C25D5/48（2006.01）I;C25D5/52（2006.01）I;C25D21/12（2006.01）I 分類 電解或電泳工藝；其所用設備〔4〕;
發(fā)明人 郭之軍;蔣飚;李能武;祝飄;趙和英;彭小敏;張光祥;陳松華 申請（專利權）人 貴州威頓晶磷電子材料股份有限公司
代理機構 貴陽春秋知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 李萬強
地址 550000貴州省貴陽市白云區(qū)新材料產業(yè)園區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種高純六氯乙硅烷用生產設備及其耐蝕純凈處理方法，該高純六氯乙硅烷用生產設備所有管道均采用奧氏體不銹鋼材料制造、設置有抽真空的裝置和充入保護氣體的裝置、為兩級蒸餾冷凝結構；其中不銹鋼管道內表面固定有防護層，該防護層由外及里分布有厚度75μm?80μm的復合層、5μm?8μm的鋅鎳混合層、12μm?20μm的鋁鍍層和不銹鋼基體層；其中復合層由氧化鋁、氧化鉛、碳化鎢、氧化鈰密排混合而成。該高純六氯乙硅烷用生產設備內表面防護性好、表面完整性高、呈較高程度惰性、結合力強、使用壽命長、致密度好。