一種輝光放電表面處理中等離子體診斷用探針

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201120144518.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN202103008U 公開(kāi)（公告）日 2012-01-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN202103008U 申請(qǐng)公布日 2012-01-04
分類(lèi)號(hào) H01J37/244(2006.01)I;H01J37/317(2006.01)I 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 國(guó)寧 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 寧波表面工程研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 315177 浙江省寧波市鄞州區(qū)古林鎮(zhèn)科創(chuàng)南路99號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種輝光放電表面處理中等離子體診斷用探針，它包括絕緣陶瓷管和金屬絲制探針絲，絕緣陶瓷管外側(cè)設(shè)有屏蔽作用的不銹鋼套管，不銹鋼套管和陶瓷管之間設(shè)有支撐彈簧，不銹鋼套管的前端密封焊合，并留有一小孔，陶瓷管內(nèi)穿進(jìn)探針絲，探針絲的末端與導(dǎo)線連接，探針絲頭穿出不銹鋼套管前端的小孔，探針頭露在小孔外面。本實(shí)用新型采用在放電區(qū)域的陶瓷管外，套一具有彈簧支撐的不銹鋼套管的結(jié)構(gòu)，以防止濺射產(chǎn)物直接沉積在絕緣陶瓷管上，離子滲金屬等離子體診斷時(shí)，在探針上加偏置電壓，使探針表面的污染在真空中濺射去除。