一種高精度壓電陶瓷掃描器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610535874.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN107589276A 公開（公告）日 2018-01-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN107589276A 申請(qǐng)公布日 2018-01-16
分類號(hào) G01Q30/00 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 熊啟紅;張賢;朱崢嶸;黃大剛 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州海茲思納米科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 215123 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號(hào)納米城西北區(qū)02幢207室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及到電鏡技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種高精度壓電陶瓷掃描器。該高精度壓電陶瓷掃描器，包括支架、壓電陶瓷管本體、外殼、蓋子、導(dǎo)線一、導(dǎo)線二、連接器和陶瓷管，所述支架固定在外殼的一端內(nèi)部。本發(fā)明所涉及的一種高精度壓電陶瓷掃描器，在保證了掃描精度的同時(shí)，它的工藝制作簡(jiǎn)單，成功率高，同時(shí)成本較低，應(yīng)用在掃描隧道顯微鏡和掃描探針顯微鏡上，適合產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)。