一種氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111199212.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113898671A 公開（公告）日 2022-01-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN113898671A 申請(qǐng)公布日 2022-01-07
分類號(hào) F16C32/06（2006.01）I;F16F15/02（2006.01）I;G01D11/00（2006.01）I 分類 工程元件或部件；為產(chǎn)生和保持機(jī)器或設(shè)備的有效運(yùn)行的一般措施；一般絕熱;
發(fā)明人 陳萬群;滕翔宇;霍德鴻;陳高強(qiáng);丁輝 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇集萃精凱高端裝備技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京睿智保誠專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 龍濤
地址 215335江蘇省蘇州市昆山開發(fā)區(qū)中小企業(yè)園風(fēng)琴路108號(hào)5號(hào)廠房101室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種氣浮轉(zhuǎn)臺(tái),涉及精密儀器領(lǐng)域。包括轉(zhuǎn)臺(tái)、導(dǎo)氣軸承、主軸、底座，底座頂端與導(dǎo)氣軸承底端固定連接，主軸安裝于導(dǎo)氣軸承內(nèi)部，主軸與導(dǎo)氣軸承間隙配合形成腔體，主軸頂端與轉(zhuǎn)臺(tái)固定連接；還包括電機(jī)，電機(jī)滑動(dòng)連接于底座內(nèi)部，電機(jī)動(dòng)力輸出端與主軸連接；導(dǎo)氣軸承內(nèi)部設(shè)置有導(dǎo)氣機(jī)構(gòu)，導(dǎo)氣機(jī)構(gòu)用于向腔體內(nèi)輸送高壓空氣。本發(fā)明可通過控制電控面板根據(jù)導(dǎo)氣機(jī)構(gòu)內(nèi)部的壓力值控制電控三通閥和電控出氣閥的開閉面積，實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)軸的平穩(wěn)升降，保證氣浮平臺(tái)的精密性。