一種剛度可調(diào)的氣浮導(dǎo)軌

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111197728.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113833765A 公開（公告）日 2021-12-24
申請(qǐng)公布號(hào) CN113833765A 申請(qǐng)公布日 2021-12-24
分類號(hào) F16C32/06（2006.01）I 分類 工程元件或部件；為產(chǎn)生和保持機(jī)器或設(shè)備的有效運(yùn)行的一般措施；一般絕熱;
發(fā)明人 陳萬群;滕翔宇;霍德鴻;陳高強(qiáng);丁輝 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇集萃精凱高端裝備技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京睿智保誠專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 龍濤
地址 215335江蘇省蘇州市昆山開發(fā)區(qū)中小企業(yè)園風(fēng)琴路108號(hào)5號(hào)廠房101室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種剛度可調(diào)的氣浮導(dǎo)軌，涉及超精密機(jī)械技術(shù)領(lǐng)域。包括導(dǎo)軌和溜板，導(dǎo)軌包括凹腔和支撐部，支撐部設(shè)置于凹腔頂部?jī)蓚?cè)，溜板包括水平部和垂直部，水平部與支撐部相平行，水平部與支撐部之間具有第一氣膜間隙，垂直部設(shè)置于水平部底側(cè)，凹腔底部設(shè)置線圈，垂直部上設(shè)置電磁鐵，水平部頂端設(shè)置調(diào)節(jié)腔，調(diào)節(jié)腔內(nèi)設(shè)置氣壓調(diào)節(jié)器，氣壓調(diào)節(jié)器為磁致伸縮執(zhí)行器，磁致伸縮執(zhí)行器的伸縮方向?qū)?yīng)線圈的磁場(chǎng)方向。本發(fā)明提供的氣浮導(dǎo)軌，通過電磁鐵和線圈相互作用，使導(dǎo)軌與溜板靠近或遠(yuǎn)離，調(diào)節(jié)氣浮導(dǎo)軌的承載力，通過氣壓調(diào)節(jié)器在調(diào)節(jié)腔伸長或縮短，控制調(diào)節(jié)腔內(nèi)氣壓，改變第一氣膜間隙內(nèi)氣體壓力大小對(duì)氣浮導(dǎo)軌剛度進(jìn)行調(diào)節(jié)。