一種剛度可調(diào)的氣浮導(dǎo)軌
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202111197728.4 | 申請(qǐng)日 | - |
公開(公告)號(hào) | CN113833765A | 公開(公告)日 | 2021-12-24 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN113833765A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-12-24 |
分類號(hào) | F16C32/06(2006.01)I | 分類 | 工程元件或部件;為產(chǎn)生和保持機(jī)器或設(shè)備的有效運(yùn)行的一般措施;一般絕熱; |
發(fā)明人 | 陳萬群;滕翔宇;霍德鴻;陳高強(qiáng);丁輝 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人 | 江蘇集萃精凱高端裝備技術(shù)有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 北京睿智保誠專利代理事務(wù)所(普通合伙) | 代理人 | 龍濤 |
地址 | 215335江蘇省蘇州市昆山開發(fā)區(qū)中小企業(yè)園風(fēng)琴路108號(hào)5號(hào)廠房101室 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明公開了一種剛度可調(diào)的氣浮導(dǎo)軌,涉及超精密機(jī)械技術(shù)領(lǐng)域。包括導(dǎo)軌和溜板,導(dǎo)軌包括凹腔和支撐部,支撐部設(shè)置于凹腔頂部?jī)蓚?cè),溜板包括水平部和垂直部,水平部與支撐部相平行,水平部與支撐部之間具有第一氣膜間隙,垂直部設(shè)置于水平部底側(cè),凹腔底部設(shè)置線圈,垂直部上設(shè)置電磁鐵,水平部頂端設(shè)置調(diào)節(jié)腔,調(diào)節(jié)腔內(nèi)設(shè)置氣壓調(diào)節(jié)器,氣壓調(diào)節(jié)器為磁致伸縮執(zhí)行器,磁致伸縮執(zhí)行器的伸縮方向?qū)?yīng)線圈的磁場(chǎng)方向。本發(fā)明提供的氣浮導(dǎo)軌,通過電磁鐵和線圈相互作用,使導(dǎo)軌與溜板靠近或遠(yuǎn)離,調(diào)節(jié)氣浮導(dǎo)軌的承載力,通過氣壓調(diào)節(jié)器在調(diào)節(jié)腔伸長或縮短,控制調(diào)節(jié)腔內(nèi)氣壓,改變第一氣膜間隙內(nèi)氣體壓力大小對(duì)氣浮導(dǎo)軌剛度進(jìn)行調(diào)節(jié)。 |
