一種大面積光子發(fā)生噴頭

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010678925.7 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN111906093A 公開(公告)日 2020-11-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN111906093A 申請(qǐng)公布日 2020-11-10
分類號(hào) B08B7/00(2006.01)I 分類 清潔;
發(fā)明人 徐飛;鄔治國(guó);沈健 申請(qǐng)(專利權(quán))人 常州瑞擇微電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京高沃律師事務(wù)所 代理人 韓雪梅
地址 213000江蘇省常州市長(zhǎng)江北路25號(hào)2號(hào)樓5樓西
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種大面積光子發(fā)生噴頭,屬于紫外光清洗技術(shù)領(lǐng)域,包括安裝底座、石英腔體、紫外線發(fā)射組件及藥劑噴淋頭,紫外線發(fā)射組件外部套設(shè)有密封腔體,密封腔體一側(cè)傾斜設(shè)置形成噴淋面,石英腔體底部開設(shè)出液孔,藥劑被噴淋在噴淋面上,經(jīng)紫外線均勻照射后生成高濃度OH自由基并從出液孔排出。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單合理,通過設(shè)置密封腔體,可有效避免藥劑直接與紫外線發(fā)射組件等其他部件接觸,而造成的部件腐蝕;通過在密封腔體上設(shè)置傾斜噴淋面,可使藥劑在噴淋面均勻鋪灑,增加紫外線輻照面積,進(jìn)而提高紫外輻照強(qiáng)度并提高清洗效果,該噴頭有利于高濃度OH自由基的產(chǎn)生,實(shí)用性強(qiáng)。??