一種大面積光子發(fā)生噴頭
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010678925.7 | 申請(qǐng)日 | - |
公開(公告)號(hào) | CN111906093A | 公開(公告)日 | 2020-11-10 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN111906093A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-11-10 |
分類號(hào) | B08B7/00(2006.01)I | 分類 | 清潔; |
發(fā)明人 | 徐飛;鄔治國(guó);沈健 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人 | 常州瑞擇微電子科技有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 北京高沃律師事務(wù)所 | 代理人 | 韓雪梅 |
地址 | 213000江蘇省常州市長(zhǎng)江北路25號(hào)2號(hào)樓5樓西 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明公開一種大面積光子發(fā)生噴頭,屬于紫外光清洗技術(shù)領(lǐng)域,包括安裝底座、石英腔體、紫外線發(fā)射組件及藥劑噴淋頭,紫外線發(fā)射組件外部套設(shè)有密封腔體,密封腔體一側(cè)傾斜設(shè)置形成噴淋面,石英腔體底部開設(shè)出液孔,藥劑被噴淋在噴淋面上,經(jīng)紫外線均勻照射后生成高濃度OH自由基并從出液孔排出。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單合理,通過設(shè)置密封腔體,可有效避免藥劑直接與紫外線發(fā)射組件等其他部件接觸,而造成的部件腐蝕;通過在密封腔體上設(shè)置傾斜噴淋面,可使藥劑在噴淋面均勻鋪灑,增加紫外線輻照面積,進(jìn)而提高紫外輻照強(qiáng)度并提高清洗效果,該噴頭有利于高濃度OH自由基的產(chǎn)生,實(shí)用性強(qiáng)。?? |
