一種光掩模濕法工藝卡盤
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202010729016.1 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN111863701B | 公開（公告）日 | 2021-03-16 |
| 申請公布號 | CN111863701B | 申請公布日 | 2021-03-16 |
| 分類號 | H01L21/687(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 徐飛;鄔治國;沈健;華衛(wèi)群;尤春;劉維維 | 申請（專利權）人 | 常州瑞擇微電子科技有限公司 |
| 代理機構 | 北京高沃律師事務所 | 代理人 | 代芳 |
| 地址 | 213000江蘇省常州市長江中路2號樓5樓西 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開一種光掩模濕法工藝卡盤，涉及微電子制造領域，包括卡盤本體，所述卡盤本體底部固定連接有卡盤連接件，所述卡盤連接件與旋轉電機的旋轉軸固定連接；所述旋轉電機上安裝有馬達蓋本體，所述馬達蓋本體套設于所述卡盤連接件上，所述馬達蓋本體與所述卡盤本體之間設置有卡盤防水罩，所述卡盤防水罩套設于所述卡盤連接件上，且所述卡盤防水罩頂部與所述卡盤本體底部固定連接。本發(fā)明通過設計優(yōu)化卡盤底座和馬達蓋的密封結構，達到防水和防止虹吸效應，避免液體進入馬達蓋，有效防止旋轉電機進水和腐蝕。?? |
