一種光掩模濕法工藝卡盤

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010729016.1 申請日 -
公開（公告）號 CN111863701A 公開（公告）日 2020-10-30
申請公布號 CN111863701A 申請公布日 2020-10-30
分類號 H01L21/687(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 徐飛;鄔治國;沈健;華衛(wèi)群;尤春;劉維維 申請（專利權(quán)）人 常州瑞擇微電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京高沃律師事務(wù)所 代理人 常州瑞擇微電子科技有限公司;無錫中微掩模電子有限公司
地址 213000江蘇省常州市長江中路2號樓5樓西
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種光掩模濕法工藝卡盤，涉及微電子制造領(lǐng)域，包括卡盤本體，所述卡盤本體底部固定連接有卡盤連接件，所述卡盤連接件與旋轉(zhuǎn)電機(jī)的旋轉(zhuǎn)軸固定連接；所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)上安裝有馬達(dá)蓋本體，所述馬達(dá)蓋本體套設(shè)于所述卡盤連接件上，所述馬達(dá)蓋本體與所述卡盤本體之間設(shè)置有卡盤防水罩，所述卡盤防水罩套設(shè)于所述卡盤連接件上，且所述卡盤防水罩頂部與所述卡盤本體底部固定連接。本發(fā)明通過設(shè)計(jì)優(yōu)化卡盤底座和馬達(dá)蓋的密封結(jié)構(gòu)，達(dá)到防水和防止虹吸效應(yīng)，避免液體進(jìn)入馬達(dá)蓋，有效防止旋轉(zhuǎn)電機(jī)進(jìn)水和腐蝕。??