一種多聚硼納米硅復(fù)合漿料的制備方法及其應(yīng)用

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310194561.5 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN103280491B 公開（公告）日 2015-11-04
申請公布號(hào) CN103280491B 申請公布日 2015-11-04
分類號(hào) H01L31/18(2006.01)I;H01L31/0288(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 沈曉東;劉國鈞;楊小旭;成漢文;沈曉燕 申請（專利權(quán)）人 蘇州金瑞晨科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京同恒源知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 蘇州金瑞晨科技有限公司
地址 215000 江蘇省蘇州市吳中區(qū)吳中經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)澄湖東路5號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種多聚硼納米硅復(fù)合漿料的制備方法及其應(yīng)用，制備方法包括以下步驟：1）制備直徑為10-100納米的硅微粒；2）制備多聚硼組合物；3）將步驟1和步驟2制得的硅微粒和多聚硼組合物在公轉(zhuǎn)-自傳設(shè)備中通入保護(hù)氣氛下混合，得到的含硼納米硅漿料的粘度在0.5–11.0PaS。將制得的含硼納米硅漿料通過絲網(wǎng)印刷到電池硅片表面，線條清晰度高，無毛刺，能對硅片分區(qū)域選擇性地進(jìn)行硼摻雜并形成高、低硼摻雜區(qū)。