一種含高聚磷納米硅漿料的制備方法及其應(yīng)用

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310194633.6 申請日 -
公開（公告）號 CN103280402B 公開（公告）日 2015-09-02
申請公布號 CN103280402B 申請公布日 2015-09-02
分類號 H01L21/22(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;B82Y30/00(2011.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 沈曉東;成漢文;鐘朝偉;楊小旭;萬劍 申請（專利權(quán)）人 蘇州金瑞晨科技有限公司
代理機構(gòu) 北京同恒源知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 蘇州金瑞晨科技有限公司
地址 215000 江蘇省蘇州市吳中區(qū)吳中經(jīng)濟開發(fā)區(qū)澄湖東路5號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種含高聚磷納米硅漿料的制備方法及其應(yīng)用，制備方法包括以下步驟：1）制備直徑為10-100納米的硅微粒；2）制備含磷組合物；3）將步驟1和步驟2制得的硅微粒和含磷組合物在公轉(zhuǎn)-自傳設(shè)備中通入保護氣氛下混合，得到的含磷納米硅漿料的粘度在0.5PaS-18.0PaS。將制得的含磷納米硅漿料通過絲網(wǎng)印刷到電池硅片表面，線條清晰度高，無毛刺，能對硅片進行選擇性摻雜并形成高、低摻雜區(qū)。