一種含高聚磷納米硅漿料的制備方法及其應(yīng)用

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201310194633.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN103280402B 公開(kāi)（公告）日 2015-09-02
申請(qǐng)公布號(hào) CN103280402B 申請(qǐng)公布日 2015-09-02
分類號(hào) H01L21/22(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;B82Y30/00(2011.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 沈曉東;成漢文;鐘朝偉;楊小旭;萬(wàn)劍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州金瑞晨科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京同恒源知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 蘇州金瑞晨科技有限公司
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法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種含高聚磷納米硅漿料的制備方法及其應(yīng)用，制備方法包括以下步驟：1）制備直徑為10-100納米的硅微粒；2）制備含磷組合物；3）將步驟1和步驟2制得的硅微粒和含磷組合物在公轉(zhuǎn)-自傳設(shè)備中通入保護(hù)氣氛下混合，得到的含磷納米硅漿料的粘度在0.5PaS-18.0PaS。將制得的含磷納米硅漿料通過(guò)絲網(wǎng)印刷到電池硅片表面，線條清晰度高，無(wú)毛刺，能對(duì)硅片進(jìn)行選擇性摻雜并形成高、低摻雜區(qū)。