自準(zhǔn)直式中階梯光柵衍射效率測試裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810032110.4 申請日 -
公開（公告）號 CN108254161A 公開（公告）日 2018-07-06
申請公布號 CN108254161A 申請公布日 2018-07-06
分類號 G01M11/02 分類 測量；測試;
發(fā)明人 孫慈;王明佳;崔繼承;楊晉;馮樹龍;李天驕;宋楠;朱繼偉 申請（專利權(quán)）人 吉林省光電子產(chǎn)業(yè)孵化器有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市科進(jìn)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所;長春長光格瑞光電技術(shù)有限公司
地址 130033 吉林省長春市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)東南湖大路3888號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種自準(zhǔn)直式中階梯光柵衍射效率測試裝置：光源系統(tǒng)用于提供連續(xù)光及激光；單色系統(tǒng)用于將光源系統(tǒng)提供的連續(xù)光變?yōu)閱紊獬錾涞綔y試系統(tǒng)的入口處；測試系統(tǒng)包括第三球面鏡、待測中階梯光柵、待測平面鏡及第四平面鏡，從入口處進(jìn)來的光依次經(jīng)過第三球面鏡反射至待測中階梯光柵或待測平面鏡，反射回第三球面鏡，再反射至第四平面鏡，最后進(jìn)入接收系統(tǒng)，測試系統(tǒng)為自準(zhǔn)直式結(jié)構(gòu)，用于在準(zhǔn)李特羅條件下測試待測中階梯光柵的衍射效率；接收系統(tǒng)包括狹縫和光電倍增管，狹縫的作用是遮擋待測中階梯光柵的非測試級次衍射光，光電倍增管用于接收中階梯光柵測試級次的衍射光強(qiáng)。本發(fā)明特別適用于紫外及近紅外的中階梯光柵的相對衍射效率檢測。