一種晶片陶瓷盤運(yùn)輸測(cè)量一體裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120415257.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN214951262U 公開（公告）日 2021-11-30
申請(qǐng)公布號(hào) CN214951262U 申請(qǐng)公布日 2021-11-30
分類號(hào) G01B21/30（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 于海群;徐永亮;黃燕;汪海波 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 常州恒嘉半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州潤(rùn)桐嘉業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 朱平
地址 213299江蘇省常州市金壇區(qū)鹽港中路69號(hào)9幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種晶片陶瓷盤運(yùn)輸測(cè)量一體裝置，涉及晶片運(yùn)輸與測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域，包括：旋轉(zhuǎn)支柱、托盤、測(cè)量裝置。通過縱向排列多個(gè)托盤方式，使得每個(gè)托盤均與旋轉(zhuǎn)支支柱單獨(dú)連接，繼而使得在對(duì)晶片的搬運(yùn)過程中，使用者能夠單獨(dú)利用輕便的單個(gè)托盤從進(jìn)料托口放入貼好晶片的陶瓷盤，在使其旋轉(zhuǎn)至出料托口，通過測(cè)量裝置對(duì)晶片平整度進(jìn)行測(cè)量，如平整度不符合要求，則再將其旋轉(zhuǎn)復(fù)位，取下再次加工，如平整度符合要求，則取走進(jìn)行下一步工序。相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)來(lái)說，本實(shí)用新型方便上下操作，不產(chǎn)生工位干涉，且能夠適用流水線搬運(yùn)，能大量，安全的搬運(yùn)，搬運(yùn)同時(shí)能實(shí)時(shí)測(cè)量晶片的平整度。