一種熱電偶及半導體設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122638508.2 申請日 -
公開（公告）號 CN216081808U 公開（公告）日 2022-03-18
申請公布號 CN216081808U 申請公布日 2022-03-18
分類號 G01K7/02（2021.01）I;G01K1/08（2021.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 唐升 申請（專利權(quán)）人 上海華力微電子有限公司
代理機構(gòu) 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 周耀君
地址 201315上海市浦東新區(qū)良騰路6號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了一種熱電偶及半導體設(shè)備。熱電偶包括至少一個導線組和保護套管組，其中，導線組包括并排設(shè)置的第一導線和第二導線，所述第一導線和所述第二導線的一端部相互連接而構(gòu)成連接端，保護套管組包括相互獨立的第一保護套管和第二保護套管。導線組中的第一導線和第二導線分別采用相互獨立的保護套管而獨立保護，使得導線組中的各個導線遠離連接端的部分相互獨立，減小導線在彎折處裸露出來的部分因受熱變形后發(fā)生接觸的幾率，提升熱電偶的精確性。在將該熱電偶用于半導體設(shè)備中時，可有效確保設(shè)備內(nèi)溫度保持較高精確性和均勻性，從而有助于提升芯片的質(zhì)量和性能。