一種激光錯(cuò)誤注入設(shè)備
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201921908748.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN211741504U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-10-23 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211741504U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-10-23 |
| 分類號(hào) | G01R31/311(2006.01)I;G01R31/265(2006.01)I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 高國(guó)棟 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 深圳市紐創(chuàng)信安科技開(kāi)發(fā)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 深圳鼎合誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 深圳市紐創(chuàng)信安科技開(kāi)發(fā)有限公司 |
| 地址 | 518057廣東省深圳市南山區(qū)粵海街道高新南十道深圳灣科技生態(tài)園12棟裙樓8層29-31號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型實(shí)施例公開(kāi)了一種激光錯(cuò)誤注入設(shè)備，用于對(duì)芯片進(jìn)行激光錯(cuò)誤注入，包括：激光源，用于發(fā)射激光；變焦耦合鏡，用于調(diào)節(jié)激光在被測(cè)芯片上所形成光斑的尺寸；顯微鏡，其光路被設(shè)置為指向被測(cè)芯片，包括光路耦合鏡、聚焦鏡、成像鏡、相機(jī)或目鏡；設(shè)備被配置為：激光源發(fā)射的激光經(jīng)變焦耦合鏡后射入顯微鏡光路，在被測(cè)芯片上形成光斑，調(diào)節(jié)變焦耦合鏡，以調(diào)節(jié)激光在被測(cè)芯片上所形成光斑的尺寸。通過(guò)實(shí)施本實(shí)用新型實(shí)施例，可較快的確定被測(cè)芯片上適合進(jìn)行激光錯(cuò)誤注入的準(zhǔn)確位置，掃描效率高。?? |
