薄膜晶體管的制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410291981.X 申請日 -
公開（公告）號 CN104037089B 公開（公告）日 2017-01-11
申請公布號 CN104037089B 申請公布日 2017-01-11
分類號 H01L21/336(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 吳德峻;林苡嫻 申請（專利權(quán)）人 華映視訊（吳江）有限公司
代理機構(gòu) 上海漢聲知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 華映視訊（吳江）有限公司;中華映管股份有限公司
地址 215217 江蘇省蘇州市吳江經(jīng)濟開發(fā)區(qū)同里分區(qū)江興東路555號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種薄膜晶體管制造方法，包括下列步驟。于基板上依序形成柵極、柵絕緣層及半導(dǎo)體層。于半導(dǎo)體層上形成第一光阻圖案。以第一光阻圖案為罩幕圖案化半導(dǎo)體層，以形成信道。以光罩為罩幕圖案化第一光阻圖案，以形成信道保護圖案。于基板上形成導(dǎo)電層，以覆蓋信道保護圖案及信道。于導(dǎo)電層上形成第二光阻材料層。再度以光罩為罩幕圖案化第二光阻材料層，以形成第二光阻圖案。第一光阻圖案與第二光阻圖案的一為正型光阻，而第一光阻圖案與第二光阻圖案的另一為負(fù)型光阻。以第二光阻圖案為罩幕圖案化導(dǎo)電層，以形成源極與漏極。