形成膜層圖案的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201410116809.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN103887217B 公開(kāi)（公告）日 2017-01-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN103887217B 申請(qǐng)公布日 2017-01-18
分類號(hào) H01L21/68(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李一帆 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 華映視訊（吳江）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海漢聲知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 華映視訊（吳江）有限公司;中華映管股份有限公司
地址 215217 江蘇省蘇州市吳江經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)同里分區(qū)江興東路555號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種形成膜層圖案的方法至少包括下列步驟。(1)利用第一對(duì)位記號(hào)與第二對(duì)位記號(hào)量測(cè)出第一膜層圖案與第二膜層圖案之間的第一偏移值D1。(2)利用第一偏移值D1計(jì)算出第一虛擬原點(diǎn)值O1。(3)利用第二對(duì)位記號(hào)與第一罩幕對(duì)位記號(hào)量測(cè)出第二膜層圖案與第一罩幕圖案之間的第二偏移值D2。(4)利用第一虛擬原點(diǎn)值O1與第二偏移值D2計(jì)算出第一罩幕圖案與第一虛擬原點(diǎn)之間的第三偏移值D3。(5)判斷第三偏移值D3是否在規(guī)格值的范圍內(nèi)。