一體化微型氣體吸收池

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011614221.X 申請日 -
公開（公告）號 CN112798536B 公開（公告）日 2022-04-29
申請公布號 CN112798536B 申請公布日 2022-04-29
分類號 G01N21/03（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 林宏燾;馬耀光;李蘭;李鈞穎 申請（專利權）人 杭州納境科技有限公司
代理機構 杭州求是專利事務所有限公司 代理人 萬尾甜;韓介梅
地址 310000浙江省杭州市西湖區(qū)高技街30號279室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種一體化微型氣體吸收池，該吸收池包括頂板、底板以及設于頂板和底板之間的兩個反射鏡?微納透鏡一體化元件和兩個密封板；所述頂板和底板上開有通氣孔；所述兩個反射鏡?微納透鏡一體化元件由透明基板、設于透明基板正面的超表面透鏡及反射鏡和設于透明基板背面的增透膜組成，透明基板正面朝向吸收池內部；兩個反射鏡?微納透鏡一體化元件相對設置，且兩個超表面透鏡彼此錯開，超表面透鏡外側分別設有可調激光器和探測器。兩個超表面透鏡還可設于兩個反射鏡?微納透鏡一體化元件中的任意一個元件上。本發(fā)明可以有效解決目前的氣體吸收池由于各關鍵光學元件各自分立，因而體積較大、成本較高，且難以實現(xiàn)高精度的對準封裝的問題。