一種CZ直拉單晶法真空泵

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200920172290.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN201425010Y 公開(kāi)（公告）日 2010-03-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN201425010Y 申請(qǐng)公布日 2010-03-17
分類(lèi)號(hào) F04B37/14(2006.01)I;F04B39/00(2006.01)I 分類(lèi) 液體變?nèi)菔綑C(jī)械；液體泵或彈性流體泵;
發(fā)明人 馬四海;張笑天 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 蕪湖昊陽(yáng)光能股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蕪湖安匯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 蕪湖升陽(yáng)光電科技有限公司;蕪湖昊陽(yáng)光能股份有限公司
地址 241100安徽省蕪湖縣蕪湖機(jī)械工業(yè)園朝陽(yáng)路1號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種CZ直拉單晶法真空泵，所述的真空泵下部設(shè)有避震裝置，所述的避震裝置包括槽鋼底架(1)及避震結(jié)構(gòu)，所述的避震結(jié)構(gòu)為：在所述的槽鋼底架(1)上方，設(shè)由柔性材料制成的上避震模塊(2)；在所述的槽鋼底架(1)下方，設(shè)由柔性材料制成的下避震模塊(3)。采用上述技術(shù)方案，采用兩級(jí)避震方式，更大幅度的降低真空泵的震動(dòng)；采用新型的聚乙烯樹(shù)脂棒作為主要避震方式，相對(duì)橡膠避震材料效果更佳。