一種CZ直拉法單晶爐石墨熱場結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200920172288.5 申請日 -
公開（公告）號 CN201424520Y 公開（公告）日 2010-03-17
申請公布號 CN201424520Y 申請公布日 2010-03-17
分類號 C30B15/14(2006.01)I;C30B15/16(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 馬四海;張笑天 申請（專利權）人 蕪湖昊陽光能股份有限公司
代理機構(gòu) 蕪湖安匯知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 蕪湖升陽光電科技有限公司;蕪湖昊陽光能股份有限公司
地址 241100安徽省蕪湖縣蕪湖機械工業(yè)園朝陽路1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種CZ直拉法單晶爐石墨熱場結(jié)構(gòu)，所述的石墨熱場結(jié)構(gòu)包括熱屏與氣體導流裝置，熱屏與氣體導流裝置上設熱屏外層(3)和熱屏內(nèi)層(1)，熱屏外層(3)與熱屏內(nèi)層(1)之間設有間隙。采用上述技術方案，采用斜面反射角度，使得熱輻射的反射率增加；增加了熱屏中下部熱屏外層與內(nèi)層的間隙，得以填充石墨碳氈，增加熱屏的絕熱效果。由20寸傳統(tǒng)熱封閉式場維持1420°的拉制條件需要每小時耗費70～75KW·h降低至60～65KW·h，節(jié)能超過10％；填充2～3層石墨碳氈增加了隔熱性能，改變了單晶生長時的晶體的縱向溫度梯度，拉速增加0.05mm/min，提高了設備生產(chǎn)產(chǎn)能，降低生產(chǎn)成本。