一種長單晶硅棒的取出裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201110430461.9 申請日 -
公開（公告）號 CN102409398B 公開（公告）日 2014-03-26
申請公布號 CN102409398B 申請公布日 2014-03-26
分類號 C30B15/30(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 馮冬芳;李進 申請（專利權）人 北京京儀世紀電子股份有限公司
代理機構 北京三友知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 北京京儀世紀電子股份有限公司;北京京儀儀器儀表研究總院有限公司
地址 100079 北京市豐臺區(qū)永外宋家莊葦子坑2號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種長單晶硅棒的取出裝置，用于硅單晶爐，包括由下至上依次設置的電動推桿、電動推桿連接塊、頂升軸、爐蓋提升軸、爐蓋提升連接件、副室提升軸和副室提升連接件，所述頂升軸貫穿所述爐蓋提升軸且所述頂升軸的兩端分別延伸出所述爐蓋提升軸的端部，所述頂升軸能在所述爐蓋提升軸內(nèi)上下移動，所述頂升軸的上端與所述副室提升軸的下端相連接，所述頂升軸的下端與所述電動推桿連接塊相連接，在所述爐蓋提升軸底端與所述電動推桿連接塊之間的所述頂升軸上設有可拆裝的止擋部件。本發(fā)明實現(xiàn)了長單晶硅棒穩(wěn)固、安全方便、可靠的取出，同時滿足不同長度單晶硅棒取出而進行快捷、方便切換需求的長單晶硅棒的取出裝置。