直線電機精密定位控制校正方法及校正系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410273776.0 申請日 -
公開（公告）號 CN104076739B 公開（公告）日 2016-08-17
申請公布號 CN104076739B 申請公布日 2016-08-17
分類號 G05B19/19(2006.01)I 分類 控制；調(diào)節(jié);
發(fā)明人 邢鵬展;劉遵明;常豐吉;王忠生;李華;鄭福志;孫君實;陶鑫;錢雨松;劉金彪 申請（專利權(quán)）人 佛山中科燦光微電子設(shè)備有限公司
代理機構(gòu) 長春吉大專利代理有限責(zé)任公司 代理人 長春光華微電子設(shè)備工程中心有限公司;佛山中科燦光微電子設(shè)備有限公司
地址 130033 吉林省長春市經(jīng)開區(qū)營口路77號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種直線電機定位控制校正方法，該方法如下：按照設(shè)定的運動步長控制直線電機運行，利用激光干涉測量裝置測量每運行一個步長對應(yīng)的絕對位置區(qū)間內(nèi)的定位誤差值；將定位誤差值取反得到誤差補償值并建立誤差補償表；根據(jù)設(shè)備工作需要設(shè)定直線電機每個工作位置坐標(biāo)；讀取直線電機的當(dāng)前工作位置坐標(biāo)并確定所在的位置區(qū)間；根據(jù)誤差補償表中對應(yīng)的絕對位置區(qū)間誤差補償值對當(dāng)前工作位置坐標(biāo)進(jìn)行修正，并利用修正值控制直線電機運行。本發(fā)明對于定位誤差無較大突變的電機，均可按照既定的工作范圍對其校正補償，補償精度高，可適用于激光劃片(線)機或激光雕刻機等其它需要控制直線電機運動步長的設(shè)備。