一種晶片腐蝕和清洗治具

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120343266.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN214612850U 公開(kāi)（公告）日 2021-11-05
申請(qǐng)公布號(hào) CN214612850U 申請(qǐng)公布日 2021-11-05
分類號(hào) C30B33/10（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 王銘乾;鐘興才;周旦興 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳市鑫億晶科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 518000廣東省深圳市寶安區(qū)航城街道黃麻布社區(qū)簕竹角鴻業(yè)工業(yè)園7棟廠房3層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種晶片腐蝕和清洗治具，包括第一前載板、第二前載板、第一后載板以及第二后載板，第一前載板與第二前載板之間設(shè)置第一晶片載架，第一后載板與第二后載板之間設(shè)置第二晶片載架，第一前載板以及第二前載板通過(guò)調(diào)節(jié)組件與第一后載板以及第二后載板相連接，第一晶片載架以及第二晶片載架上設(shè)置多組晶片定位組件；調(diào)節(jié)組件包括第一調(diào)節(jié)桿以及第二調(diào)節(jié)桿，第一調(diào)節(jié)桿一端滑動(dòng)連接在第一調(diào)節(jié)槽內(nèi)，第二調(diào)節(jié)桿一端活動(dòng)連接在第二調(diào)節(jié)槽內(nèi)，第一調(diào)節(jié)桿設(shè)置在第一前載板一側(cè)表面，第二調(diào)節(jié)桿設(shè)置在第二前載板一側(cè)表面。本實(shí)用新型能夠進(jìn)行間距調(diào)節(jié)，滿足不同規(guī)格晶片的使用，同時(shí)晶片承載定位性佳，避免了晶片偏移劃傷損壞的情況發(fā)生。