驅(qū)動基板及制作方法、顯示面板

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110052271.1 申請日 -
公開（公告）號 CN112599478A 公開（公告）日 2021-04-02
申請公布號 CN112599478A 申請公布日 2021-04-02
分類號 H01L27/12(2006.01)I;H01L33/58(2010.01)I;G09F9/33(2006.01)I;H01L21/84(2006.01)I;H01L25/13(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 顧楊 申請（專利權(quán)）人 蘇州芯聚半導體有限公司
代理機構(gòu) 蘇州威世朋知識產(chǎn)權(quán)代理事務所（普通合伙） 代理人 常偉
地址 215000江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)通園路666號B幢2樓2007
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種驅(qū)動基板及制作方法、顯示面板，制作方法包括：提供襯底；形成遮光層于所述襯底一側(cè)的表面上；提供掩膜版，所述掩膜版層疊于所述遮光層上方，所述掩膜版包括若干鏤空區(qū)；干法蝕刻所述遮光層形成若干斜向開槽和若干第一遮光單元，每一斜向開槽與每一鏤空區(qū)對應，每一第一遮光單元具有靠近所述襯底的第一側(cè)邊的傾斜側(cè)壁；移動掩膜版，以使每一第一遮光單元靠近所述襯底的第一側(cè)邊的傾斜側(cè)壁自對應的鏤空區(qū)中露出；以及干法蝕刻所述傾斜側(cè)壁，形成第二遮光單元；其中，所述第二遮光單元的剖面形狀為正梯形結(jié)構(gòu)。??