一種高靈敏度的聲表面波絕壓壓力傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010525496.X 申請日 -
公開（公告）號 CN111623917B 公開（公告）日 2022-03-04
申請公布號 CN111623917B 申請公布日 2022-03-04
分類號 G01L7/10（2006.01）I;G01L11/04（2006.01）I;G01L13/02（2006.01）I;G01L17/00（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 郝文昌;駱偉;趙廣宏;焦海龍;劉鐵鋼;張小輝 申請（專利權(quán)）人 北京遙測技術(shù)研究所
代理機構(gòu) 中國航天科技專利中心 代理人 張輝
地址 100076北京市豐臺區(qū)北京市9200信箱74分箱
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種高靈敏度的聲表面波絕壓壓力傳感器，包括感壓膜片、聲表面波諧振器、中間層、壓力參考腔和蓋板；中間層、感壓膜片和蓋板通過直接鍵合或間接鍵合方式形成整體結(jié)構(gòu)，并在所述整體結(jié)構(gòu)上形成壓力參考腔；聲表面波諧振器設(shè)置在感壓膜片的內(nèi)表面，位于壓力參考腔的感壓區(qū)域中心處；壓力參考腔為矩形或橢圓形結(jié)構(gòu)，矩形短邊或橢圓形短軸與所述聲表面波諧振器中聲表面波的傳播方向平行，且長度大于等于聲表面波諧振器的長度，矩形長邊或橢圓形長軸與所述聲表面波諧振器中聲孔徑方向平行；聲表面波諧振器（2）匯流條處均連接輸出引線。本發(fā)明靈敏度高且體積小，加工工藝簡單且繼承性好，具有良好的長期穩(wěn)定性。