進(jìn)行基板快速交互搬送的機(jī)構(gòu)及其搬送方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011161904.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN112249685A | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-04-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112249685A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-04-01 |
| 分類(lèi)號(hào) | B65G47/90;B65G47/74 | 分類(lèi) | 輸送；包裝；貯存；搬運(yùn)薄的或細(xì)絲狀材料; |
| 發(fā)明人 | 陳韶華;余海春;戴曉東;靳偉;戴秀海 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 光馳科技（上海）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海申蒙商標(biāo)專(zhuān)利代理有限公司 | 代理人 | 周宇凡 |
| 地址 | 200444 上海市寶山區(qū)寶山城市工業(yè)園區(qū)城銀路267號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及濺射成膜設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種進(jìn)行基板快速交互搬送的機(jī)構(gòu)及其搬送方法，其特征在于：所述機(jī)構(gòu)包括至少兩個(gè)夾持部以及旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其中所述夾持部與基板相吻合適配以對(duì)其進(jìn)行夾持，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)連接所述夾持部并可驅(qū)動(dòng)至少兩個(gè)所述夾持部可旋轉(zhuǎn)以交換所述夾持部的對(duì)應(yīng)位置。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是：實(shí)現(xiàn)位于不同空間內(nèi)的基板的快速交互搬送；結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單合理，便于擴(kuò)展，可適應(yīng)于不同應(yīng)用場(chǎng)合；使用方便，適于推廣。 |
