一種用于成膜室的自動開關門裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120542123.3 申請日 -
公開（公告）號 CN215251155U 公開（公告）日 2021-12-21
申請公布號 CN215251155U 申請公布日 2021-12-21
分類號 C23C14/56（2006.01）I;C23C14/54（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 薛聰穎;龍汝磊;虞潤淋;吳萍 申請（專利權）人 光馳科技（上海）有限公司
代理機構 上海申蒙商標專利代理有限公司 代理人 周宇凡
地址 200444上海市寶山區(qū)寶山城市工業(yè)園區(qū)城銀路267號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及成膜設備技術領域，尤其是一種用于成膜室的自動開關門裝置，其特征在于：所述成膜室門的一側(cè)與所述成膜室主體之間鉸接，在所述成膜室主體與所述成膜室門之間設置有開關門機構，所述開關門機構用于連接控制所述成膜室門的啟閉，使所述成膜室門可旋轉(zhuǎn)打開或可旋轉(zhuǎn)閉合，在所述成膜室主體的側(cè)面設置有鎖緊機構，所述鎖緊機構用于在所述成膜室門閉合后對所述成膜室門與所述成膜室主體之間的對接位置進行鎖緊。本實用新型的優(yōu)點是：實現(xiàn)成膜室門的自動啟閉，可有效避免有害鍍膜材料的外泄以及成膜室門啟閉時的人身傷害，提高安全性；有效減小成膜室門啟閉所需的推力，同時便于控制；結構簡單合理、自動化程度高，適于推廣。