一種工件夾具搬送機(jī)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202122164561.3 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN215713354U 公開(公告)日 2022-02-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN215713354U 申請(qǐng)公布日 2022-02-01
分類號(hào) C23C14/56(2006.01)I;C23C16/54(2006.01)I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆;用金屬材料對(duì)材料的鍍覆;表面化學(xué)處理;金屬材料的擴(kuò)散處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆;金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 余龍;周斌;渡邉優(yōu);張波;裴蓓;曹永軍;加藤弘樹;呂啟蒙 申請(qǐng)(專利權(quán))人 光馳科技(上海)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海申蒙商標(biāo)專利代理有限公司 代理人 周宇凡
地址 200444上海市寶山區(qū)寶山城市工業(yè)園區(qū)城銀路267號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及真空鍍膜、刻蝕、熱工藝處理等技術(shù)領(lǐng)域,尤其是一種工件夾具搬送機(jī)構(gòu),其特征在于:包括升降模組、交換臂、旋轉(zhuǎn)模組,其中所述交換臂設(shè)置在所述升降模組上并可在所述升降模組的驅(qū)動(dòng)下升降,所述旋轉(zhuǎn)模組用于驅(qū)動(dòng)安裝在所述升降模組上的所述交換臂旋轉(zhuǎn),所述交換臂上具有與所述工件夾具相吻合適配的對(duì)接部。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是:實(shí)現(xiàn)工件的快速搬送,搬送效率高;保證工件在搬送過程中穩(wěn)定可靠,尤其是不易產(chǎn)生粉塵,適合真空系統(tǒng)的搬送需求;結(jié)構(gòu)簡單合理,使用方便,可根據(jù)不同類型或不同型尺寸的工件的裝載要求進(jìn)行快速設(shè)計(jì),適于推廣。