一種應(yīng)用于鍍膜機(jī)的真空伺服搬運(yùn)系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120211757.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN215251139U 公開（公告）日 2021-12-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN215251139U 申請(qǐng)公布日 2021-12-21
分類號(hào) C23C14/50（2006.01）I;C23C14/54（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 卜欽欽;戴曉東;王德智 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 光馳科技（上海）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海申蒙商標(biāo)專利代理有限公司 代理人 周宇凡
地址 200444上海市寶山區(qū)寶山城市工業(yè)園區(qū)城銀路267號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種應(yīng)用于鍍膜機(jī)的真空伺服搬運(yùn)系統(tǒng)，包括基板夾取移送機(jī)構(gòu)、基板側(cè)移機(jī)構(gòu)以及伺服控制系統(tǒng)，其中基板夾取移送機(jī)構(gòu)和基板側(cè)移機(jī)構(gòu)設(shè)置在鍍膜機(jī)的真空腔體內(nèi)部，且基板夾取移送機(jī)構(gòu)和基板側(cè)移機(jī)構(gòu)分別采用伺服電機(jī)作為動(dòng)力部件，基板夾取移送機(jī)構(gòu)和基板側(cè)移機(jī)構(gòu)分別在各自的真空伺服電機(jī)的驅(qū)動(dòng)下執(zhí)行動(dòng)作，伺服機(jī)電機(jī)的工作狀態(tài)由伺服控制系統(tǒng)連接控制。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是：可以實(shí)現(xiàn)更精確的定位；便于與外部自動(dòng)化對(duì)接，提升設(shè)備的自動(dòng)化水平；可實(shí)現(xiàn)該套系統(tǒng)在不同機(jī)型之間的應(yīng)用，具有較高的靈活性；減少和設(shè)備之間的物理碰撞可以提升該套系統(tǒng)的維護(hù)時(shí)間，進(jìn)而提高設(shè)備的性能；系統(tǒng)具有良好的同步性，準(zhǔn)確性。