一種濺射靶材及濺射裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202021245556.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN213061007U 公開（公告）日 2021-04-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN213061007U 申請(qǐng)公布日 2021-04-27
分類號(hào) C23C14/35;C23C14/54 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 高局;趙亞東;鐘志明;陳楚杰;楊小龍;方梁洪 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 寧波芯健半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 郝傳鑫;賈允
地址 315336 浙江省寧波市杭州灣新區(qū)庵東工業(yè)園區(qū)華興地塊中橫路18號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種濺射靶材及濺射裝置，所述濺射靶材包括濺射板和背板；所述濺射板設(shè)置在所述背板上，所述濺射板包括第一部分和第二部分；所述第一部分圍繞所述第二部分設(shè)置，所述第一部分具有第一厚度，所述第二部分具有第二厚度，所述第二厚度大于所述第一厚度，通過增加濺射板整體或中間部分的厚度，可以保證濺射板中間部分的消耗量，增加濺射板的消耗時(shí)間，從而提高濺射板的使用效率和使用壽命，減少了更換頻率。