一種晶圓固定裝置及晶圓清潔系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021526559.5 申請日 -
公開（公告）號 CN212750845U 公開（公告）日 2021-03-19
申請公布號 CN212750845U 申請公布日 2021-03-19
分類號 H01L21/683(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 楊小龍;白雪山 申請（專利權(quán)）人 寧波芯健半導(dǎo)體有限公司
代理機構(gòu) 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 郝傳鑫;賈允
地址 315336浙江省寧波市杭州灣新區(qū)庵東工業(yè)園區(qū)華興地塊中橫路18號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種晶圓固定裝置及晶圓清潔系統(tǒng)，包括底座、旋轉(zhuǎn)臺和真空發(fā)生裝置；所述旋轉(zhuǎn)臺可轉(zhuǎn)動的設(shè)置在所述底座上；所述旋轉(zhuǎn)臺上設(shè)有多個連通的導(dǎo)氣槽和凸臺；所述導(dǎo)氣槽與所述真空發(fā)生裝置連通，晶圓設(shè)置在所述凸臺上，所述真空發(fā)生裝置通過在所述導(dǎo)氣槽中產(chǎn)生吸附氣流，將所述晶圓固定在所述凸臺上，通過真空吸附方式將晶圓吸附在旋轉(zhuǎn)臺上，避免了人工的接觸，從而避免晶圓發(fā)生裂片和表面被沾污，同時也能處理晶圓背面的水分，并進行收集處理，保證了晶圓避免水分干燥的全面性，通過旋轉(zhuǎn)臺的設(shè)置，可以提高晶圓表面的清潔率，減少了人工的操作，避免了對晶圓的接觸，提高了晶圓的良率。??