一種晶圓涂膠系統(tǒng)
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202021148052.0 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN213315899U | 公開（公告）日 | 2021-06-01 |
| 申請公布號 | CN213315899U | 申請公布日 | 2021-06-01 |
| 分類號 | B05D3/02（2006.01）I;B05C9/14（2006.01）I;B05C11/08（2006.01）I;B05C5/00（2006.01）I;B05C11/10（2006.01）I;B05C13/02（2006.01）I | 分類 | 一般噴射或霧化；對表面涂覆液體或其他流體的一般方法〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 方梁洪;梁于壕;劉鳳;任超;彭祎;李春陽 | 申請（專利權(quán)）人 | 寧波芯健半導(dǎo)體有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 | 代理人 | 郝傳鑫;賈允 |
| 地址 | 315336浙江省寧波市杭州灣新區(qū)庵東工業(yè)園區(qū)華興地塊中橫路18號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及一種晶圓涂膠系統(tǒng)，包括晶圓涂膠裝置、加熱裝置和控制裝置；晶圓涂膠裝置用于對晶圓進(jìn)行涂膠；加熱裝置包括加熱板，加熱板表面承載涂膠后晶圓，加熱板劃分成若干個加熱區(qū)域，每個加熱區(qū)域?qū)?yīng)設(shè)有一個監(jiān)測組件，監(jiān)測組件包括溫度監(jiān)測件和警報器；控制裝置包括溫度監(jiān)測模塊、溫度判斷模塊和警報控制模塊；溫度獲取模塊用于獲取溫度監(jiān)測件監(jiān)測的實(shí)時溫度；溫度判斷模塊用于判斷溫度監(jiān)測件的溫度比是否大于預(yù)設(shè)溫度比；警報控制模塊用于當(dāng)判斷溫度監(jiān)測件的溫度比大于預(yù)設(shè)溫度比時，控制警報器啟動；本實(shí)用新型能夠保證加熱板中各個區(qū)域的溫度均勻性，避免溫度不均勻影響到晶圓的烘烤質(zhì)量。?? |
