一種晶圓邊緣管芯判定方法及系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910309016.3 申請日 -
公開（公告）號 CN110033470B 公開（公告）日 2021-08-24
申請公布號 CN110033470B 申請公布日 2021-08-24
分類號 G06T7/13（2017.01）I;G06T7/11（2017.01）I;G06T7/00（2017.01）I 分類 計算；推算；計數(shù);
發(fā)明人 彭義 申請（專利權(quán)）人 英特爾產(chǎn)品（成都）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京永新同創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 林錦輝
地址 611731四川省成都市高新技術(shù)開發(fā)區(qū)西區(qū)科新路8-1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于晶圓邊緣檢測技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種晶圓邊緣管芯判定方法及系統(tǒng)，以晶圓中心點作為原點建立一個具有X向和Y向的平面晶圓圖；即晶圓上的每一個點的位置都可以用X向和Y向上的值來描述；將晶圓根據(jù)加工管芯尺寸參數(shù)，從X向和Y向?qū)⒕A分割成若干個管芯，并以每個管芯在晶圓圖上的X向和Y向位置來對管芯位置參數(shù)進(jìn)行描述；根據(jù)生產(chǎn)要求實際，將位于晶圓圖最外沿的一圈或多圈管芯設(shè)定為晶圓的邊緣管芯，并根據(jù)確定為邊緣的管芯的位置參數(shù)計算出邊緣與晶圓中心（即原點）的最小距離R，計算管芯與晶圓中心點（即原點）的距離，并與邊緣與晶圓中心點（即原點）的最小距離R比較，判斷管芯的位置是否為晶圓的邊緣。