用于翹曲度監(jiān)測(cè)的方法和裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110386419.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113097093A 公開(kāi)（公告）日 2021-07-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN113097093A 申請(qǐng)公布日 2021-07-09
分類(lèi)號(hào) H01L21/66（2006.01）I;G01B21/20（2006.01）I;G01B21/32（2006.01）I 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉思瑤;張琴 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 英特爾產(chǎn)品（成都）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京永新同創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 林錦輝;劉景峰
地址 611731四川省成都市高新技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)西區(qū)科新路8-1號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了用于翹曲度監(jiān)測(cè)的方法和裝置。其中，一種用于翹曲度監(jiān)測(cè)的方法，包括：基于多個(gè)半導(dǎo)體器件的翹曲度來(lái)確定所述多個(gè)半導(dǎo)體器件發(fā)生表面貼裝技術(shù)（SMT）故障的多個(gè)量化值；基于所述多個(gè)量化值來(lái)獲得多個(gè)模擬值；以及基于所獲得的多個(gè)模擬值來(lái)監(jiān)測(cè)所述多個(gè)半導(dǎo)體器件的翹曲度。