一種電潤(rùn)濕介電液滴致動(dòng)裝置及其制造方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201811468606.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN109603931B 公開（公告）日 2021-07-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN109603931B 申請(qǐng)公布日 2021-07-27
分類號(hào) B01L3/00（2006.01）I 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 馬漢彬;蘇陽;阿洛基亞·內(nèi)森 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 廣東奧素液芯微納科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京安信方達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王紅英;張瑞
地址 528200廣東省佛山市南海區(qū)桂城街道夏南路1號(hào)佛山市通儲(chǔ)物流有限公司內(nèi)自編A2棟201-1室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種電潤(rùn)濕介電液滴致動(dòng)裝置及其制造方法。一種制造包括一個(gè)或多個(gè)面的電潤(rùn)濕介電液滴致動(dòng)裝置的方法。該方法包括使用增材制造工藝，沉積非導(dǎo)電材料以形成基板和圍繞基板的微流體結(jié)構(gòu)；沉積導(dǎo)電材料，用于形成嵌入基板內(nèi)的連接端和電極陣列；沉積電介質(zhì)和疏水材料，以形成覆蓋電極和基板的層；將具有第一和第二側(cè)面的蓋子設(shè)置在微流體結(jié)構(gòu)上并在電極上方留下空間；其中蓋子的第二側(cè)面具有導(dǎo)電和疏水層；并且蓋子的第二側(cè)面對(duì)電極陣列。