一種化學(xué)品供應(yīng)裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201922367879.4 申請日 -
公開（公告）號 CN211423996U 公開（公告）日 2020-09-04
申請公布號 CN211423996U 申請公布日 2020-09-04
分類號 F17D1/00(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 張倩;時楠 申請（專利權(quán)）人 江蘇正帆半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 上海正帆科技股份有限公司;江蘇正帆半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
地址 201108上海市閔行區(qū)春永路55號2幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種化學(xué)品供應(yīng)裝置，涉及半導(dǎo)體化學(xué)工藝技術(shù)領(lǐng)域。該化學(xué)品供應(yīng)裝置包括原料桶、泵和移動箱體。原料桶和泵均設(shè)置在移動箱體內(nèi)，可方便快速地將原料送至生產(chǎn)現(xiàn)場。泵的進(jìn)口和出口分別和原料桶的出口、用料設(shè)備的進(jìn)料口連通，以形成供液管路。泵的進(jìn)口和出口也分別和用料設(shè)備中的廢液桶、外部廢液貯存裝置連通，以形成廢液轉(zhuǎn)移管路。供液管路和廢液轉(zhuǎn)移管路上均設(shè)置有開關(guān)閥，以控制供液管路和廢液轉(zhuǎn)移管路的導(dǎo)通和閉合，實(shí)現(xiàn)兩個管路之間的切換。通過供液管路能夠?qū)⒒瘜W(xué)品原料快速供給用料設(shè)備使用，通過廢液轉(zhuǎn)移管路能夠?qū)U液桶內(nèi)的廢液快速轉(zhuǎn)移至外部廢液貯存裝置中，保證生產(chǎn)持續(xù)進(jìn)行。??