一種氣體管道的測試設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020018603.5 申請日 -
公開（公告）號 CN211147965U 公開（公告）日 2020-07-31
申請公布號 CN211147965U 申請公布日 2020-07-31
分類號 G01M3/22(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 劉洋 申請（專利權(quán)）人 江蘇正帆半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 上海正帆科技股份有限公司;江蘇正帆半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
地址 201108上海市閔行區(qū)春永路55號2幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種氣體管道的測試設(shè)備，屬于檢測設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。該氣體管道的測試設(shè)備，用于對至少兩個氣體管道的測試，包括并聯(lián)連接的抽真空單元、保壓單元、檢測單元和充氣單元，其中，抽真空單元并列設(shè)置有多個第一通路，每個第一通路與對應(yīng)的一個氣體管道連接，用于相應(yīng)氣體管道的抽真空；保壓單元并列設(shè)置有多個第二通路，每個第二通路與對應(yīng)的一個氣體管道連接，用于相應(yīng)氣體管道的保壓；檢測單元用于相應(yīng)氣體管道的氣密性檢測及水分、氧分及顆粒的檢測；充氣單元并列設(shè)置有多個第三通路，每個第三通路與對應(yīng)的一個氣體管道連接，用于向相應(yīng)氣體管道內(nèi)充氣。本實用新型提供的氣體管道的測試設(shè)備，滿足批量化生產(chǎn)需求，提高工作效率。??