電阻式存儲器結(jié)構(gòu)及其制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911390437.X 申請日 -
公開(公告)號 CN113130737A 公開(公告)日 2021-07-16
申請公布號 CN113130737A 申請公布日 2021-07-16
分類號 H01L45/00(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 黃清俊;鄧允斌;歐陽錦堅;談文毅 申請(專利權(quán))人 聯(lián)芯集成電路制造(廈門)有限公司
代理機構(gòu) 北京市柳沈律師事務(wù)所 代理人 陳小雯
地址 361100福建省廈門市翔安區(qū)萬家春路899號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種電阻式存儲器結(jié)構(gòu)及其制作方法,其中該電阻式存儲器結(jié)構(gòu)包含一基底,一電阻式存儲器埋入基底,其中電阻式存儲器包含一下電極、一金屬氧化物層和一上電極,一第一摻雜區(qū)埋入基底并且圍繞下電極,一晶體管設(shè)置于電阻式存儲器的一側(cè),其中晶體管包含一柵極結(jié)構(gòu)位于基底上,一源極位于柵極結(jié)構(gòu)的一側(cè)并且埋入基底,一漏極位于柵極結(jié)構(gòu)的另一側(cè)并且埋入基底,其中第一摻雜區(qū)和漏極接觸。