一種先進(jìn)制作工藝控制方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610893739.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN107946172B 公開（公告）日 2021-07-13
申請(qǐng)公布號(hào) CN107946172B 申請(qǐng)公布日 2021-07-13
分類號(hào) H01L21/02;H01L21/66 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王凌翔 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 聯(lián)芯集成電路制造（廈門）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京市柳沈律師事務(wù)所 代理人 陳小雯
地址 福建省廈門市翔安區(qū)萬家春路八九九號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種先進(jìn)制作工藝控制方法。首先形成一柵極結(jié)構(gòu)于一基底上，然后形成一間隙壁于柵極結(jié)構(gòu)旁，并進(jìn)行一第一測(cè)量步驟來測(cè)量間隙壁的臨界尺寸。接著形成一氧化層于間隙壁兩側(cè)的基底表面，進(jìn)行一清洗步驟去除部分氧化層并同時(shí)依據(jù)間隙壁的臨界尺寸調(diào)整清洗步驟所進(jìn)行的時(shí)間來控制氧化層的厚度，進(jìn)行一第二測(cè)量步驟來測(cè)量氧化層的厚度，以及形成一源極/漏極區(qū)域于間隙壁兩側(cè)的基底內(nèi)。