臨界尺寸掃描電子顯微鏡的控制系統(tǒng)與控制方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910748742.5 申請日 -
公開（公告）號 CN112395910A 公開（公告）日 2021-02-23
申請公布號 CN112395910A 申請公布日 2021-02-23
分類號 G06K9/00(2006.01)I 分類 計算；推算；計數(shù);
發(fā)明人 陳輝騰;尹又生;金艷慧;劉濤;吳曉寧;許弈佳;郭曉娜;王哲忠;陳有證;談文毅 申請（專利權(quán)）人 聯(lián)芯集成電路制造（廈門）有限公司
代理機構(gòu) 北京市柳沈律師事務(wù)所 代理人 徐協(xié)成
地址 361100福建省廈門市翔安區(qū)萬家春路八九九號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種臨界尺寸掃描電子顯微鏡的控制系統(tǒng)與控制方法。臨界尺寸掃描電子顯微鏡的控制系統(tǒng)。控制系統(tǒng)包括一智能圖像識別單元、一處理單元及一遠程操作單元。智能圖像識別單元用以提取一屏幕畫面，并自動辨識一警告事件的類型。處理單元用以在屏幕畫面的一顯示區(qū)域自動搜尋一目標圖案。若在屏幕畫面的顯示區(qū)域自動搜尋到目標圖案，則遠程操作單元自動移動目標圖案至顯示區(qū)域的中心。??