電化學(xué)電鍍方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911021499.3 申請日 -
公開（公告）號 CN112708910A 公開（公告）日 2021-04-27
申請公布號 CN112708910A 申請公布日 2021-04-27
分類號 C25D3/38;C25D7/12;C25D17/00;C25D17/12;C25D21/12;C25D21/14;C25D21/18 分類 電解或電泳工藝；其所用設(shè)備〔4〕;
發(fā)明人 張守國;李景剛;徐永波;郭細(xì)軍;李寶中 申請（專利權(quán)）人 聯(lián)芯集成電路制造（廈門）有限公司
代理機構(gòu) 北京市柳沈律師事務(wù)所 代理人 陳小雯
地址 361100 福建省廈門市翔安區(qū)萬家春路899號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種電化學(xué)電鍍方法，包含將陰極電解液輸送到陰極室，其中陰極電解液被控制在一第一溫度；在室溫下提供陽極電解液，在將陽極電解液輸送到陽極室之前，將陽極電解液的溫度從室溫降低到一第二溫度，其中第二溫度等于或低于第一溫度。接著將基板的待電鍍表面浸入電鍍液中，并將基底偏壓到一直流電壓。偏壓的基底將電鍍液中的金屬離子吸引到待電鍍表面，以將金屬電鍍到基底上。