一種新型圖形復合對位靶標及HDI板

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110449807.3 申請日 -
公開（公告）號 CN113163580A 公開（公告）日 2021-07-23
申請公布號 CN113163580A 申請公布日 2021-07-23
分類號 H05K1/02 分類 其他類目不包含的電技術;
發(fā)明人 孟昭光;趙南清;蔡志浩;曾國權 申請（專利權）人 東莞市五株電子科技有限公司
代理機構 北京集佳知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 張建
地址 523000 廣東省東莞市石碣鎮(zhèn)劉屋科技中路161號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種新型圖形復合對位靶標及HDI板，包括環(huán)形的對位盲孔，在對位盲孔的中間開設有對位通孔，對位通孔和對位盲孔共中心點；對位通孔的外邊界與對位盲孔的內(nèi)邊界之間形成有環(huán)形的線路圖形，線路圖形的外邊界與對位盲孔的內(nèi)邊界連接，線路圖形的內(nèi)邊界與對位通孔的外邊界之間被蝕刻移除。本發(fā)明在對位靶標中不僅同時融合了對位盲孔和對位通孔，還融合了環(huán)形的線路圖形，可以先同時抓取對位通孔和對位盲孔兩種對位靶標，以平衡兩種孔型所帶來的對位偏差，提升圖形對位效率，再進一步抓取環(huán)形的線路圖形，通過將線路圖形分別與對位通孔和對位盲孔進行對準度檢查，進一步提升圖形對位精度和準確度，提升圖形對位效率。