一種陰極磁過(guò)濾真空鍍膜設(shè)備
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011267806.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN112376026A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-02-19 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112376026A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-02-19 |
| 分類號(hào) | C23C14/35(2006.01)I; | 分類 | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 張文錄;江鳶飛 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 深圳市鑫承諾環(huán)保產(chǎn)業(yè)股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 深圳市國(guó)亨知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 李夏宏 |
| 地址 | 518000廣東省深圳市寶安區(qū)沙井步涌同富裕工業(yè)園A-5地塊B7棟 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及真空鍍膜設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種陰極磁過(guò)濾真空鍍膜設(shè)備，包括安裝機(jī)臺(tái)，安裝機(jī)臺(tái)底端設(shè)有陰極磁過(guò)濾系統(tǒng)，陰極磁過(guò)濾系統(tǒng)內(nèi)設(shè)有真空腔體、陰極磁控系統(tǒng)、蒸鍍系統(tǒng)、電源系統(tǒng)和真空泵組、加熱器以及加熱管轉(zhuǎn)架組件，陰極磁過(guò)濾系統(tǒng)是由彎管、導(dǎo)流線圈、陰極靶、引弧針以及等離子體檔板構(gòu)成，彎管內(nèi)部有數(shù)百個(gè)特殊的ф3?5mm凹坑結(jié)構(gòu)，彎管內(nèi)部設(shè)有多個(gè)內(nèi)部倒鉤結(jié)構(gòu)，等離子檔板邊緣區(qū)域存在多個(gè)呈圓周陣列分布的螺絲孔；通過(guò)設(shè)置凹坑結(jié)構(gòu)，彎管內(nèi)部的凹坑結(jié)構(gòu)在濺射過(guò)程中，其既能有效防止大顆粒物質(zhì)的反射，又能讓沉積在彎管內(nèi)部的膜層有個(gè)內(nèi)部倒鉤結(jié)構(gòu)，一定程度可降低生產(chǎn)過(guò)程中膜層掉落的概率。?? |
