高頻感應(yīng)加熱蒸發(fā)裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201721163764.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN207362324U | 公開（公告）日 | 2018-05-15 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN207362324U | 申請(qǐng)公布日 | 2018-05-15 |
| 分類號(hào) | C23C14/26 | 分類 | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 東野斯陽(yáng);張誠(chéng);陳亮 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 河北興遠(yuǎn)有色金屬材料有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京漢昊知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 馮譜 |
| 地址 | 835221 新疆維吾爾自治區(qū)伊犁哈薩克自治州霍爾果斯卡拉蘇河歐陸經(jīng)典小區(qū)1號(hào)樓1-110-577號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供了一種高頻感應(yīng)加熱蒸發(fā)裝置，包括：多個(gè)坩堝、坩堝支架、感應(yīng)線圈、移動(dòng)機(jī)構(gòu)以及密封機(jī)構(gòu)；多個(gè)坩堝，用于盛放鍍膜材料；坩堝支架，用于對(duì)多個(gè)坩堝進(jìn)行支撐；移動(dòng)機(jī)構(gòu)，用于驅(qū)動(dòng)多個(gè)坩堝中的目標(biāo)坩堝移動(dòng)使目標(biāo)坩堝進(jìn)入所述感應(yīng)線圈內(nèi)；感應(yīng)線圈，用于通過(guò)通入高頻電流對(duì)目標(biāo)坩堝內(nèi)的鍍膜材料進(jìn)行加熱蒸發(fā)；密封機(jī)構(gòu)，用于在移動(dòng)機(jī)構(gòu)和真空室之間形成密封。本實(shí)用新型所提供的高頻感應(yīng)加熱蒸發(fā)裝置的優(yōu)點(diǎn)在于：(1)鍍膜材料裝載量大、裝載種類多；(2)蒸發(fā)源位置固定從而使得膜厚具有良好的一致性；(3)可以根據(jù)實(shí)際需求增減坩堝數(shù)量，布局方便、定制化程度高；(4)增加坩堝數(shù)量的同時(shí)不需要額外增加加熱系統(tǒng)，節(jié)約成本。 |
