高頻感應(yīng)加熱蒸發(fā)裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201710803689.5 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN107400860B | 公開（公告）日 | 2017-11-28 |
| 申請公布號 | CN107400860B | 申請公布日 | 2017-11-28 |
| 分類號 | C23C14/26(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 東野斯陽;張誠;陳亮 | 申請（專利權(quán)）人 | 河北興遠(yuǎn)有色金屬材料有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 北京漢昊知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 馮譜 |
| 地址 | 065201河北省廊坊市三河市燕郊高新區(qū)河北興遠(yuǎn)有色金屬材料有限公司用地南側(cè)、區(qū)間路東側(cè) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了一種高頻感應(yīng)加熱蒸發(fā)裝置，包括：多個坩堝、坩堝支架、感應(yīng)線圈、移動機構(gòu)以及密封機構(gòu)；多個坩堝，用于盛放鍍膜材料；坩堝支架，用于對多個坩堝進(jìn)行支撐；移動機構(gòu)，用于驅(qū)動多個坩堝中的目標(biāo)坩堝移動使目標(biāo)坩堝進(jìn)入所述感應(yīng)線圈內(nèi)；感應(yīng)線圈，用于通過通入高頻電流對目標(biāo)坩堝內(nèi)的鍍膜材料進(jìn)行加熱蒸發(fā)；密封機構(gòu)，用于在移動機構(gòu)和真空室之間形成密封。本發(fā)明所提供的高頻感應(yīng)加熱蒸發(fā)裝置的優(yōu)點在于：(1)鍍膜材料裝載量大、裝載種類多；(2)蒸發(fā)源位置固定從而使得膜厚具有良好的一致性；(3)可以根據(jù)實際需求增減坩堝數(shù)量，布局方便、定制化程度高；(4)增加坩堝數(shù)量的同時不需要額外增加加熱系統(tǒng)，節(jié)約成本。?? |
