新型高靶材利用率平面磁控濺射陰極

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710299682.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN107083537A 公開（公告）日 2017-08-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN107083537A 申請(qǐng)公布日 2017-08-22
分類號(hào) C23C14/35(2006.01)I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 張誠(chéng) 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 河北興遠(yuǎn)有色金屬材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京漢昊知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 馮譜
地址 835221 新疆維吾爾自治區(qū)伊犁哈薩克自治州霍爾果斯卡拉蘇河歐陸經(jīng)典小區(qū)1號(hào)樓1-110-577號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種新型的平面磁控濺射陰極，該平面磁控濺射陰極包括靶材、背板、磁體裝置以及導(dǎo)磁板，靶材設(shè)置在背板的一側(cè)，導(dǎo)磁板設(shè)置在背板的另一側(cè)，磁體裝置設(shè)置在背板和導(dǎo)磁板之間，其中，磁體裝置包括中間磁體和環(huán)繞該中間磁體的外圈磁體，中間磁體包括至少兩個(gè)電磁鐵，外圈磁體和中間磁體朝向靶材的磁極其二者極性相反；平面磁控濺射陰極還包括電磁鐵電源，該電磁鐵電源與該至少兩個(gè)電磁鐵連接，為該至少兩個(gè)電磁鐵依次供電以使外圈磁體和中間磁體之間的磁場(chǎng)分布不斷發(fā)生變化。實(shí)施本發(fā)明可以有效提高靶材的利用率、防止靶材污染、提高濺射速率的穩(wěn)定性。此外，本發(fā)明所提供的平面磁控濺射陰極還具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、易于控制、可靠性高的特點(diǎn)。