一種大尺寸硅片金剛線切割液

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110888249.0 申請日 -
公開（公告）號 CN113549488A 公開（公告）日 2021-10-26
申請公布號 CN113549488A 申請公布日 2021-10-26
分類號 C10M173/00（2006.01）I;C10N30/04（2006.01）N;C10N30/06（2006.01）N;C10N30/12（2006.01）N;C10N30/16（2006.01）N;C10N30/18（2006.01）N 分類 石油、煤氣及煉焦工業(yè)；含一氧化碳的工業(yè)氣體；燃料；潤滑劑；泥煤;
發(fā)明人 郭熹;劉治洲;王波 申請（專利權(quán)）人 江蘇捷捷半導(dǎo)體新材料有限公司
代理機構(gòu) 南通一恒專利商標(biāo)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 梁金娟
地址 226200江蘇省南通市啟東市科技創(chuàng)業(yè)園興龍路8號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種大尺寸硅片金剛線切割液，所述金剛線切割液中各組分所占的質(zhì)量份數(shù)為：表面活性劑20?60份、滲透劑10?40份、消泡劑0.5?20份、增溶劑5?30份、乳化劑3?10份、分散劑0.1?2份、余量為去離子水。本發(fā)明的優(yōu)點在于：本發(fā)明提供的大尺寸硅片切割液具有優(yōu)異的滲透、潤滑、清洗作用，溶水后能形成穩(wěn)定的水包油體系，高效的分散硅粉能力，可以避免硅粉切屑及有機殘留物在設(shè)備內(nèi)部的聚集，防止形成粘附，堵塞管道并可降低切割液的使用量，并可有效降低硅片清洗和廢水處理難度。