一種用于切片設(shè)備循環(huán)系統(tǒng)的金剛線切割液及其制備方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202111029710.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN113736550A | 公開（公告）日 | 2021-12-03 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113736550A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-12-03 |
| 分類號(hào) | C10M173/02（2006.01）I;C10N30/06（2006.01）N;C10N30/18（2006.01）N;C10N30/04（2006.01）N;C10N10/02（2006.01）N | 分類 | 石油、煤氣及煉焦工業(yè)；含一氧化碳的工業(yè)氣體；燃料；潤滑劑；泥煤; |
| 發(fā)明人 | 郭熹;劉治洲;王波 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 江蘇捷捷半導(dǎo)體新材料有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 蘇州言思嘉信專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 安琳 |
| 地址 | 226200江蘇省南通市啟東市興龍路8號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種用于切片設(shè)備循環(huán)系統(tǒng)的金剛線切割液，所述金剛線切割液以重量份數(shù)計(jì)，其包括潤滑劑20－30份、水溶性滲透劑10－15份、油溶性滲透劑復(fù)配物1－5份，消泡劑0.5－5份、增溶劑20－30份、乳化劑0.5－3份、分散劑0.1－2份、余量為去離子水。本發(fā)明的有益效果是，本發(fā)明金剛線切割液具有強(qiáng)大的清洗能力，可以有效去除硅片表面殘留的油性臟污、硅粉團(tuán)聚結(jié)塊等，并可以避免硅粉切屑及有機(jī)殘留物在設(shè)備內(nèi)部的聚集，防止形成粘附，堵塞管道。 |
